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全氟化橡膠密封件產(chǎn)品特點(diǎn):
優(yōu)異的耐熱性
全氟化橡膠是一種合成材料,其構(gòu)造酷似特富L(PTFE),因而實(shí)現(xiàn)了耐高溫工藝使用的耐熱標(biāo)準(zhǔn)300度以上
低粒子、低滲氣性
在半導(dǎo)體FPD制造工序中影響成品率的是粒子放出,通過(guò)特殊填料配合,減輕來(lái)自等離子的損壞。同樣影響成品率惡化主要原因的是從真空放CHU氣體,該產(chǎn)品具有釋氣率低特點(diǎn)
各種耐性(耐溶劑性,耐化學(xué)Y品性,低金屬含量)
以優(yōu)異的耐溶劑性,低金屬含量為主,對(duì)于需耐各種Y品的特殊氟橡膠制品,可提供廣泛的材料方案
豐富的系列
通過(guò)積累的制造技術(shù)和自有的配合技術(shù),可從豐富的系列中結(jié)合使用用途給出合適材料方案。也可從既有系列中選擇,實(shí)現(xiàn)成本優(yōu)勢(shì)